Served platforms

  • SW EPI ASM Epsilon
  • SW EPI AMAT Centura
  • Batch EPI AMAT & Moore (barrels)
  • Batch EPI CSD
  • Batch EPI LPE
  • Batch EPI Gemini
  • Batch EPI Nuflare
  • Batch EPI Kokusai

ASM Chamber

Basics:

  • Quartz chamber
  • Spider, Shaft
  • SiC Susceptor
  • SiC Ring Set

Centura Chamber

Basics:                                                                      

  • Quartz Domes                                                          
  • Quartz Liners  
  • Inserts, Baffles, Injectors
  • Susceptor Support Pins                                                                      
  • Wafer Lift Pins                                                             
  • SiC Susceptor          
  • SiC Pre Heat Ring